| 加工定制：是 | 品牌：海展 | 型号：SUV-10 |
| 用途：降低UV膜粘性 |
SUV-10 半自动UV照射机
该设备用于Wafer减薄后或切割后或QFN等产品切割后照射UV光工序，即在照射UV膜后,降低UV膜粘性,方便剥离产品。
SUV-10半自动UV机详细参数 | |
晶圆尺寸 | 直径，4,5, 6,8英寸（客户***） |
FRAME尺寸 | 6寸,8寸(客户***) 6寸可同时照射两片 |
针对膜的种类 | UV膜 |
工作效率 | 60-80片/小时 |
控制系统 | PLC,触摸屏 |
UV光波长 | 365nm |
照射功率 | 18-22mw/cm2 |
灯管额定寿命 | 800-1000小时,触摸屏内有灯管使用时长的统计 |
放置台 | 不锈钢托盘 |
冷却系统 | 有排风扇,可选择氮气接口 |
设备内温度 | 有温度控制器,显示内部温度,及高温报警 |
托盘系统 | 自动打开与关闭 |
提示 | 工作完成有提示,灯管工作状态有指示灯 |
供电 | 220 V；50/60 Hz；10A |
供气 | 0.5MPa 干燥压缩空气 |
外形尺寸 | 420mm (宽) × 650mm(长) × 250mm(高) |
净重 | 35kg |
