半自动划片晶圆贴膜机

(型号:SWM-100)

技术参数

1.   主要规格

1.1 框架尺寸:      6或8英寸 （DISCO标准）   客户***           

1.2 膜种类:        蓝膜或者UV膜

                  宽度:  230毫米（6英寸框架）300毫米（8英寸框架） 

                  长度:    100米

                  厚度:    0.05~0.2毫米

1.3 晶圆规格：     4，5，6，8英寸   客户***

1.4 晶圆厚度:      100-750um

1.4 贴膜原理:      防静电滚轮贴膜（自动贴膜）

1.5 工作台盘:      特氟隆涂层接触式台盘（工作台有加热,温度为:常温-100°C）

1.6 装卸方式:      产品手动放置与取出

1.7 切割系统:      直线刀切割仅在框架以外5毫米处，圆切割刀顺时针方向旋转切割。

                  独特的直切刀技术***在同类机台胶膜应用最节省

1.8产品定位:       CHUCK  TABLE上对应WAFER形状的刻线,真空吸固定WAFER

1.9电力供应:       单相交流电220V,***

1.10压缩空气:      5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺

1.11体积:          560毫米(宽)*860毫米(深)*510毫米(高)

1.12净重:          75公斤

2. 机器性能:

2.1 晶圆收益:      >=99.9%

2.2 贴膜质量:      没有气泡(不包括碎粒气泡)

2.3   每小时产能:    >=80 片

3. 安装,培训及验收:

3.1 卖方负责将机器安装,调机,试运行及性能测试

3.2 卖方给于买方内部操作员工,工程师, 维护人员完善的技术培训直到他们可以稳定独立地操  

   作机器

4. 保修条款:

4.1 卖方***设备完全满足买方正常生产要求及购买规格
4.2 保修期为买方正式验收起12个月内

5. 其他说明 :

5.1 设备自动拉膜，自动贴膜，达到省力，易操作的效果

5.2 自动贴膜，贴膜质量好，贴膜压力可以调节

5.3 自动拉膜能够良好的控制每片的拉膜长度，让膜在前后两边超出铁环长度控制在1cm左右，达到省膜的效果

5.4 双层膜的隔离层采用力拒马达回收

5.5 设备电器，气动等标准件采用进口品牌